性能特点：

• 模块化主动隔振系统，专利体系架构。
  

• 六个自由度主动隔振。
  

• 多个独立隔振器，最高4000Kg负载。
  

• 易安装，免维护，无需后期校准。
  

• 易于集成到SEM/TEM等工作站
  

• 显著提高精密仪器的性能

技术参数：

• 隔振性能：8dB gain on 1Hz （60-70%）
                   20dB gain on 2Hz（≥90%）
  

• 隔振自由度：6个自由度
  

• 响应时间：≤0.01 Sec
  

• 隔振性能：0.5-100Hz
  

• 模块尺寸：230×270×75mm
  

• 模块数量：1-8个
  

• 承载重量：300-1200Kg