技术参数：
PS8尺寸
直径：140mm
高度：10mm
子台Substage
X/Y 轴移动范围：9mm
Z轴移动范围：0.7mm
探针Probers：
X轴行程：4.5mm
Y轴行程：5mm
Z轴行程：90°
分辨率：
线性轴< 0.5 nm
旋转轴 < 8 nm
移动速度：最大1mm/s
漂移：小于1nm/min
