Kleindiek的EBIC放大器可实现对样品可进行EBIC,EBAC,RCI,EBIV和EBIRCH分析。

原理：

通过MM3A/MM4将探针精确定位到探测位置，信号通过弱电流测量屏蔽套件（LCMK）传输到SEM/FIB视频输入端，并通过SEM/FIB成像。

配置：

• EBIC Amplifier + MM3A-EMs + LCMK

• EBIC Amplifier + Prober Shuttle

应用领域：

• 无损失效分析

• IC开路探测

• PN结观测

• 电阻变化定位

技术参数：

• 最小电流测量：15Fa

• 增益：10⁵ to 10¹² V/A

• 带宽：400Khz

• AC/DC 两种放大模式

• 输入电流补偿

• 图像反转模式