MM3A-EM纳米级显微操纵仪

功能：用于SEM,FIB和其他显微平台下的纳米级显微操纵。微镊子，弱电流测量屏蔽，旋转，微力测量等插件进一步拓展MM3A的功能。

功能插件（Plug-in Tools）：

• Microgripper微镊子

• Rotationaltip 旋转臂

• Lowcurrent measurement kit 弱电流测量屏蔽套件

• Microsoldering unit 微焊接

• Microinjector微注射

• GasInjection System 气体注射系统

• Forcemeasurement system 微力测量

产品特点（Features）：

• 纳米级精度，厘米级工作范围

• 卓越的稳定性，“零”漂移

• 可适用于各种SEM/FIB显微平台，包括Load lock

• 丰富的功能插件

技术参数（Specifications）

• 尺寸：62.1（L）*20.4（W）*25.4mm（H）

• 重量：45g

• 操纵范围：12mm（C轴）, 240^o(A,B轴)

• 位移速度：≥2 mm/s（C轴），≥10 mm/s（A,B轴）

• 分辨率：0.05nm（C），0.25nm（B），0.5nm（A）

• 保持力：1N

• 保持扭矩：3-4Nmm

• 探针电流范围：10 nA to 100 mA

• 最大探针电压：100V

• 最低真空度：10^-7 mbar